エレクトロニクス材料

フォトレジスト用ポリマー

半導体

キレイな半導体をつくる

KrFレジスト用ポリマー

MWP-240

(30% PGMEA 溶液)

イメージ
[Copolymer of 4-(1-ethoxyethoxy)styrene and 4-hydroxystyrene]
CAS RN® 158593-28-3
[Propylene glycol monomethyl ether acetate(PGMEA)]
CAS RN® 108-65-6

物性

外観 淡黄色透明液体
融点 -
溶解性 水 :不溶
その他 :データなし

関連法規・安全性

消防法 危険物第四類第二石油類(非水溶性液体) 
毒物及び劇物取締法 -
化審法 [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 2-3144
安衛法 [4-(1-エトキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1016
[プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 公表化学物質
変異原性 -
経口毒性(LD50 ラット 8532mg/kg

MWP-241

(30% PGMEA 溶液)

イメージ
[4-(1-Cyclohexyloxyethoxy)styrene/copolymer with 4-vinylphenol]
CAS RN® 199432-81-0
[Propylene glycol monomethyl ether acetate(PGMEA)]
CAS RN® 108-65-6

物性

外観 形状:透明液体
色:淡黄色
融点 -
溶解性 水 :難溶
その他 :データなし

関連法規・安全性

消防法 危険物第四類第ニ石油類(非水溶性液体)
毒物及び劇物取締法 -
化審法 [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 告示されていない
[プロピレングリコールモノメチル]: 2-3144
安衛法 [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1591
[プロピレングリコールモノメチル]: 公表化学物質
変異原性 -
経口毒性(LD50 ラット 8532mg/kg

MWP-307

(30% PGMEA 溶液)

イメージ
[Copolymer of 4-(1-cyclohexyloxyrthoxy)styrene/4-(tetrahydropyran-2-yloxy)styrene/4-vinylphenol]
CAS RN® 950774-21-7
[Propylene glycol monomethyl ether acetate(PGMEA)]
CAS RN® 108-65-6

物性

外観 形状:透明液体
色:淡黄色
融点 -
溶解性 水 :不溶
その他 :データなし

関連法規・安全性

消防法 危険物第四類第ニ石油類(非水溶性液体)
毒物及び劇物取締法 -
化審法 [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-テトラヒドロピラニルオキシスチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 告示されていない
[プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 2-3144
安衛法 [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-テトラヒドロピラニルオキシスチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1590
[プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 公表化学物質
変異原性 微生物を用いる変異原性試験 陰性(ポリマー成分)
経口毒性(LD50 ラット 8532mg/kg